| 產品規格 | LTE-KZ100 |
|---|---|
| 電源系統功率 | 射頻電源:0~600W 或 0~1000W 可選;中頻電源:0~1000W |
| 電源系統頻率 | 射頻電源:13.56MHz;中頻電源:40KHz |
| 真空泵 | 雙級旋片泵(油式),60m³/h |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管 |
| 腔體材質 | 鋁合金(可訂製不銹鋼腔體) |
| 腔體厚度 | 25mm |
| 密封性 | 軍工級焊接密封 |
| 內部尺寸 | 450 × 450 × 500mm(寬 × 高 × 深)& 可客製 |
| 外部控制模式 | 啟停I/O,RS485(選配) |
| 電極板有效尺寸 | 420 × 411mm(寬 × 深) |
| 可用空間間距 | 22.5mm |
| 電極板佈置方式 | 水平佈置,可活動抽取 |
| 工作託盤 | 標配一套,材質可選配(鋁材、鋼絲網) |
| 工作空間 | 6 個空間 |
| 氣體流量範圍 | 0~300 SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標配兩路,可訂製 |
| 系統控制 | PLC |
| 控制方式 | 7 吋觸控螢幕 |
| 尺寸 | 900 × 1750 × 1000mm(寬 × 高 × 深) |
| 重量 | 200KG |
| 設備外觀顏色 | 銀灰色 |
| 交流電源 | AC380V,50/60Hz,5 線,50A |
| 工作環境排氣流量 | 2.0 m³/min |
| 工作氣體 | 流量:1~10 L/min;壓力:3~7 kg/cm²;管徑:6×4 mm;材質:PU 管;純度:99.99%以上 |
| 工作環境壓縮空氣 | 流量:1~10 L/min;壓力:3~7 kg/cm²;管徑:8×5 mm;材質:PU 管;露點:-40℃以下 |
| 工作環境溫度 | 15~30℃ |
| 工作環境濕度 | 30~70% |

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